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Stickstoff und Ozon sind umwelt- und gesundheitsrelevante Gase, deren Erfassung in häuslicher und industrieller Umgebung von grosser Wichtigkeit ist. Die vorliegende Arbeit widmet sich der Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierenden Dünnschichten für die Detektion dieser Gase im Bereich der MAK-Werte und darunter.
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Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion von NO2 und O3, Harald Steffes
- Taal
- Jaar van publicatie
- 2002
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