Oliver Böhm Boeken
In der vorliegenden Arbeit wurden atomskalige Simulationsmethoden zur Untersuchung von Reinigungs- und Reparaturprozessen geschädigter ULK-Materialien angewendet. Im Detail wurden die Dichtefunktionaltheorie zur Berechnung von thermochemischen Eigenschaften relevanter Reaktionen und das Kraftfeld ReaxFF zur Berechnung von Diffusionskonstanten eingesetzt. Es konnte gezeigt werden, dass der in der Halbleiterindustrie häufig verwendete Reiniger dHF lediglich zur Entfernung von offenporigen CF-Polymerfilmen geeignet ist. Ebenso sollten aminhaltige Reiniger aufgrund unerwünschter Nebenreaktionen vermieden werden. Zur Wiederherstellung der Dielektrizitätskonstante sowie des Kohlenstoffgehaltes in geschädigten ULK-Materialien wurden Reaktionen zur Silylierung von siliziumgebundenen Hydroxylgruppen in der Gasphase untersucht. Ein besonders günstiges Verhältnis aus Aktivierungs- und Reaktionsenergie zeigten das Silazan Bis(dimethylamino)dimethylsilan und das Siloxan Dimethyldiacetoxysilan. Neben den thermochemischen Eigenschaften der Silylierungsreaktionen ist auch das Diffusionsverhalten der Reparaturchemikalien von Interesse. Zur Ermittlung der Selbstdiffusionskonstante wurde das Kraftfeld ReaxFF für die Elemente Si, C, O, N und H unter der Verwendung von ab initio Daten parametrisiert. In einer Molekulardynamiksimulation konnten dann die Selbstdiffusionskonstanten der Chemikalien Hexamethyldisilazan und Dimethyldiacetoxysilan berechnet werden.
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Trotz moderner Tools und Generatoren scheitern viele größere Projekte an der Komplexität und der fehlenden Wiederverwendbarkeit von Komponenten. Während wir uns mit den Unzulänglichkeiten von Java und Java-basierten Frameworks auseinandersetzen, kündigt sich im akademischen Bereich ein Paradigmenwechsel an: die aspektorientierte Programmierung (AOP). Doch ist AOP tatsächlich die Lösung für zukünftige Probleme? Eine Einführung in die Welt der Aspekte sowie eine Fallstudie mit AspectJ bieten einen Ausblick auf die Vorteile: Einsparungen, Geschwindigkeitsgewinne und mehr. Im weiteren Verlauf wird die Sprache „AspectJ“ mit ihren Elementen wie „Aspects“, „Pointcuts“ und „Advices“ behandelt, einschließlich des Umgangs mit dem Compiler und seiner Toolkette. Die Beispiele sind einfach gehalten, um den Wortschatz zu erlernen und später nachschlagen zu können. Im dritten Teil wird das Wissen gefestigt, und es werden Standardaspekte und Lösungsansätze vorgestellt, die das Entwicklerleben erleichtern. Mit einigen einfachen Regeln beim Einsatz von AspectJ lassen sich die typischen Fallstricke umgehen. So sind Sie gut für die Praxis gerüstet und können Ihrem ersten AOP-Projekt gelassen entgegensehen oder eine der vorgeschlagenen Einführungsstrategien umsetzen. Kenntnisse in Java und den Prinzipien der Objektorientierung werden vorausgesetzt.
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