Herstellung von Metall-Silizium-Multischichten mit dem MOCVD-VerfahrenFrank HamelmannUitverkocht4,3Volgen
Untersuchung zum Staubungsverhalten bei der Handhabung disperser Stoffsysteme und die Weiterentwicklung etablierter Messverfahren zur Bestimmung der StaubfreisetzungFrank HamelmannUitverkocht4,3Volgen