Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

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Das Buch bietet eine umfassende Analyse verschiedener Plasmatypen und deren Anwendungen in der Plasmadiagnostik sowie modernen Verfahren wie Sputtern und Trockenätzen. Es behandelt detailliert die Methoden zur Oberflächenmodifikation und geht besonders auf reaktive Verfahren und Ionenstrahltechniken ein. Zahlreiche Anwendungsbeispiele veranschaulichen die theoretischen Konzepte. Die Neuauflage enthält aktualisierte Inhalte und neue Kapitel über Plasmadiagnostik sowie hochdichte und induktiv-gekoppelte Plasmen, was die Relevanz und Aktualität des Themas unterstreicht.