Het boek is momenteel niet op voorraad
Meer over het boek
The 14 papers in this volume cover topics such as the background to this approach and up-dated status; design and concepts of relevant cluster tools equipment; specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD) annealing or etching reactors; and standardization efforts.
Een boek kopen
Single chamber processing, Yves I. Nissim
- Taal
- Jaar van publicatie
- 1993
Zodra we het ontdekt hebben, sturen we een e-mail.
Betaalmethoden
Nog niemand heeft beoordeeld.