Hochstromdurchkontaktierungen für die Hybridtechnik

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Elektrische Durchkontaktierungen werden in der Dickschicht-Hybridtechnik genutzt, um Ströme von der Vorderseite von Keramiksubstraten auf deren Rückseite zu führen. Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es im Wesentlichen, die Stromtragfähigkeit elektrischer Durchkontaktierungen unter Belastung mit kurzen Strompulsen zu erforschen. Dazu wird die Durchkontaktierung mit Hilfe eines Finite-Elemente-Verfahrens modelliert und das Modell anhand von Messungen an über 1500 Proben validiert. Modellgestützt werden Versagensmechanismen quantitativ beschrieben und aus dem Verständnis heraus Maßnahmen gefunden, damit die Durchkontaktierungen erst bei höheren Strömen ausfallen. Zusätzlich wird noch ein auf den erarbeiteten Erkenntnissen basierendes zerstörungsfreies Prüfverfahren entwickelt, um mit hoher Trennschärfe vorherzusagen, ob Durchkontaktierungen einer bestimmten Strombelastung standhalten werden.