Bookbot

Precision Nanometrology

Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

Auteurs

Parameters

Aantal pagina's
372bladzijden
Leestijd
14uren

Meer over het boek

Focusing on the latest advancements in optical sensors, the book explores their application in precision nanometrology for measuring angle and displacement. It details scanning-type measuring systems designed for analyzing surface forms and stage motions, complemented by algorithms and experimental data that enhance understanding and implementation.

Uitgave

Een boek kopen

Precision Nanometrology, Wei Gao

Taal
Jaar van publicatie
2014
product-detail.submit-box.info.binding
(Paperback)
Zodra we het ontdekt hebben, sturen we een e-mail.

Betaalmethoden

Nog niemand heeft beoordeeld.Tarief