Modellierung anisothermer Argonplasmen

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Die Untersuchung konzentriert sich auf die mathematische Modellierung anisothermer Plasmen, die in technischen Anwendungen zur Oberflächenfunktionalisierung eingesetzt werden. Hierbei werden hydrodynamische Modelle und innovative Fluid-Modelle zur Beschreibung von Elektronen entwickelt, um nichtlokale Transporteffekte zu analysieren. Die Diskretisierung erfolgt durch fortschrittliche FCT-Verfahren unter Verwendung von Finiter-Elemente- und Finiter-Differenzenmethoden. Zudem werden verschiedene Entladungstypen, wie Niederdruckglimmentladungen und RF-Entladungen, zur Unterstützung experimenteller Untersuchungen analysiert.