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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau

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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau, Manuela Klaus

Taal
Jaar van publicatie
2009
Bindwijze
(Paperback)
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Titel
Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau
Taal
Duits
Jaar van publicatie
2009
Formaat
Paperback
Aantal pagina's
117
ISBN10
3798321450
ISBN13
9783798321458
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